完本神战

第278章 与中科院联合成立先进微电子研究院（第2页）

“我。”张副院长说，“我自己要求的。院里本来想派个年轻的，我说不行，这么重要的担子，我得亲自盯著。怎么，不欢迎？”

“求之不得！”王恪惊喜道。张副院长是技术出身，懂行，有威望，又能协调各方关係，是最合適的人选。

“那就这么说定了。”张副院长伸出手，“合作愉快，王院长。”

“合作愉快，张书记。”王恪握住他的手，两人相视而笑。

从院里出来，王恪直接去了半导体所。

刘所长的办公室比张副院长还乱——桌上除了文件，还有各种晶片样品、电路板、测量仪器，简直像个小型实验室。

“王恪！”刘所长看见他，从一堆零件里抬起头，五十多岁的人，头髮乱糟糟的，眼镜歪在鼻樑上，“你来得正好，看看这个！”

他递过来一块晶片，只有指甲盖大小，上面密密麻麻排著细线。

“这是我们仿製的z80，刚流片回来，测试通过率只有30%。”刘所长嘆气道，“工艺不行啊。设计是我们自己做的，不比原版差，但造出来就是不行。”

王恪仔细看了看晶片，放在显微镜下。果然，有些线条边缘模糊，有些连接点断裂——都是光刻工艺的问题。

“刘所长，我正是为这个来的。”王恪放下晶片，“院里同意成立先进微电子研究院，主要攻关方向就是光刻工艺和设备。我想邀请半导体所加入。”

刘所长眼睛一亮，隨即又黯下去：“加入是好事，但我们人手紧张啊。所里现在三个重点项目，都缺人。”

“我知道。”王恪说，“所以我想了个方案。您派五个人到研究院，工资待遇不变，明远集团再给每人每月发五百元科研补贴——直接给个人。同时，集团向半导体所捐赠一台美国最新的离子注入机，外加两台日本的电子束曝光机。”

刘所长手里的镊子“啪嗒”掉在桌上。

“你……你说什么？”他声音都变了。

“离子注入机，电子束曝光机。”王恪重复一遍，“设备已经在香港了，只要批文下来，一个月內运到北京。”

刘所长猛地站起来，在办公室里转了两圈，忽然抓住王恪的手：“王院长！不，王老弟！你这话当真？”

“白纸黑字，可以签协议。”

“签！现在就签！”刘所长激动得脸都红了，“別说五个人，你要十个我都给！不，十五个！所里最好的工艺工程师，你隨便挑！”

王恪笑了：“那就十个吧。不过我有个条件——这十个人要在研究院至少工作三年，期间人事关係保留在所里，研究成果双方共享。”

“没问题！完全没问题！”刘所长搓著手，“那设备什么时候能到？批文我亲自去跑！不，我现在就去！”

看著刘所长风风火火衝出门的背影，王恪摇摇头，又笑了。

这就是科研工作者——给再多的钱，可能还要犹豫；但给一台梦寐以求的设备，命都能给你。

十二月初，“中国科学院-明远集团先进微电子研究院”正式掛牌。

掛牌仪式很简单，就在半导体所那栋旧实验楼前。没有红毯，没有鲜花，只有一条横幅，几排摺叠椅。来的都是相关领域的专家和领导，总共不到五十人。

张副院长——现在该叫张书记了——主持仪式。他讲话很简短：“今天不是什么庆典，是一个战前动员会。我们要攻的是一座硬山头，叫光刻机。这座山很高，路很陡，可能要走十年、二十年。但今天，我们迈出了第一步。”

王恪的讲话更短：“我只说三句话。第一，研究院的目標是1995年前造出中国自己的步进式光刻机。第二，所有经费由明远集团保障，大家只管研究，不用为钱发愁。第三，失败了不追责，成功了是大家的功劳。”

台下响起掌声，不热烈，但很扎实。

仪式结束后，大家参观实验室。楼確实旧了，墙皮有些脱落，地板踩上去嘎吱响。但窗明几净，设备已经陆续到位——虽然不是最先进的，但都是国內能搞到的最好的。

“这是超净车间，级別1000。”王恪介绍，“虽然比不上国外的100级，但暂时够用了。旁边是测试间，设备还在调试。”

双工件台研究室的负责人小陈——一个三十出头的清华博士——兴奋地介绍他们的进展：“我们已经把定位精度提高到80纳米了！虽然离目標还很远，但我们发现了一个关键问题：振动隔离。传统的气浮隔振不够，我们正在设计一种主动隔振系统……”

照明系统研究室的老赵插话：“你们那还算好的！我们搞照明均匀性，试了三十多种方案，最好的也只能做到3%的误差。王院长说国外能做到1%，我真想不明白怎么做到的！”

“慢慢来。”王恪拍拍他的肩，“先把3%稳定住，再想办法优化。我记得有篇论文提到用微透镜阵列匀光，你们可以试试。”

“微透镜阵列？”老赵眼睛一亮，“对啊！我怎么没想到！小王，不，王院长，你真是我们的活字典！”

眾人笑起来。

张书记在旁边看著，对身边的刘所长低声说：“看见没？这就是王恪的本事。他不是简单地给钱给设备，他是真懂，真能指方向。”

刘所长点头：“关键是还谦虚。明明是他提的思路，偏说是『在论文里看到的。这种领导，下面的人愿意跟著干。”